實驗室集中供氣的優(yōu)點

1、保持氣體純度

2、不間斷氣體供應：系統(tǒng)可以以手動方式和自動方式在氣瓶之間進行切換，保證氣體連續(xù)供應

3、低壓警示：當氣壓低于警報限時，報警裝置可自動啟動報警

4、氣體壓力穩(wěn)定：系統(tǒng)采用兩級減壓方式供氣，可得到非常穩(wěn)定的壓力

5、率：通過供氣控制系統(tǒng)，可充分使用氣瓶中的氣體，減少殘氣余量，降低用氣成本

6、操作簡便：所有氣瓶存放在同一位置，減少搬運安裝的操作，節(jié)約時間和成本費用

7、無氣瓶在實驗室：可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實驗室操作空間

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實驗室氣路安裝要求

1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對氣體純度要求不是太嚴格的地方。

2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。

3、易1燃氣體，如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時，其間距不應小于0.5M；交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。

4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨的閥門隔離，以方便對過濾裝置進行維修。

5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。

6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。

7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。

8、每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。

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特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。特種氣體的應用電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。